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氯化氢使用规范是什么

发布时间:2021-10-11 16:30 点击:

    氯化氢是一种特殊气体。当面对一种特殊气体时,首先要学会如何使用特殊气体,简称特殊气体。它有以下分类和注意事项。

    (1)可燃气体。

    自燃、易燃和可燃气体被定义为这类气体。常温下,SiH4气体只要与空气接触就会燃烧。当环境温度达到一定水平时,PH3和B2 H6等气体也会自燃。可燃气体有一定的着火、燃烧和爆炸范围,即上限和下限。范围越大,气体爆炸和燃烧的风险越高。比如B 2H6的爆炸上限为98%,爆炸下限为0.9%。可燃气体有H2、NH3、PH3、DCS和clf3。

    (2)有毒气体:半导体制造行业使用的许多气体对人体有害有毒。其中,AsH3、B 2H6、PH3等气体毒性最大,其TLV(阈限阀)分别仅为50× 10-9、100× 10-9和300× 10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极小,因此在储存、运输和使用过程中需要特别小心。一般来说,应该采取具体的技术措施来控制这些气体的使用。NO、C4F6、C5F8、NF3、CH 3F等。都是有毒气体。

    (3)腐蚀性气体:这些腐蚀性气体通常同时具有很强的毒性。一般来说,腐蚀性气体在干燥状态下不易腐蚀金属,但在水环境中表现出较强的腐蚀性,如HCl、HF、PCl3、SiF4、ClF3、WF6等。

    (4)惰性气体:惰性气体本身一般不会直接对人体造成伤害,在气体传输过程中,安全要求没有上述其他气体严格。但是惰性气体是窒息性的,密闭空间泄漏会使人窒息,造成工业事故。属于这一类别的气体包括C2 F6、CF4、SF6、CHF 3等。

    (5)氧化性气体:这类气体氧化性强,一般具有其他特性,如毒性或腐蚀性。属于这一类别的气体包括ClF3、Cl2、NF3等。

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